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微纳实验室特气清单 |
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序号 |
化学品成分 |
成分 |
简介 |
CAS号/CSDS |
存放位置 |
备注 |
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1 |
液态二氧化碳 |
CO2 |
临界点干燥仪使用 |
C408 |
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2 |
硅烷 |
SiH4 |
PECVD |
特气间 |
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3 |
超纯氮气 |
N2 |
PECVD/RIE |
特气间 |
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4 |
超高纯氨气 |
NH3 |
PECVD |
特气间 |
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5 |
超高纯八氟环丁烷 |
C4F8 |
RIE/ICP-RIE |
4楼灰区 |
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6 |
超高二氟化氙 |
XeF2 |
XeF2 刻蚀机 |
设备气瓶室 |
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7 |
超高纯六氟化硫 |
SF6 |
RIE/ICP-RIE |
特气间 |
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8 |
超高纯溴化氢 |
HBr |
ICP-RIE |
4楼灰区 |
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9 |
超高纯三氟甲烷 |
CHF3 |
RIE/ICP-RIE |
特气间 |
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10 |
超高纯四氟化碳 |
CF4 |
RIE/ICP-RIE |
特气间 |
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11 |
超高纯氩气 |
Ar |
RIE/ICP-RIE/磁控/喷金仪 |
特气间 |
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12 |
超高纯氧气 |
O2 |
RIE/ICP-RIE/磁控 |
特气间 |
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13 |
超高纯一氧化二氮（笑气） |
N2O |
PECVD |
特气间 |
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14 |
超高纯氦气 |
He |
ICP-RIE |
特气间 |
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15 |
三氯化硼 |
BCl3 |
ICP-RIE |
4楼灰区 |
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