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复旦大学微纳加工服务收费标准（2019版） |
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设备名称 |
对外标准(元/小时) |
备注 |
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实验室使用和安全培训 |
50元/人/次 |
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进洁净间 |
30元/次 |
含常规小型设备使用实验和洁净室耗材费用 |
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设备工艺集中培训 |
300元/人/次 |
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紫外光刻(Karl Suss MA6) |
600 |
光刻版自备或支付相应材料费 |
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制版机(Heidelberg mPG 501) |
600 |
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钨灯丝电镜+电子束曝光 (Zeiss EVO10 + Raith Elphy Quantum) |
不对外开放 |
江湾校区，仅对物理系开放 |
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场发射电镜+电子束曝光 (Zeiss Sigma + Raith Elphy plus) |
800 |
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聚焦离子束(双束)显微镜(Auriga) |
1200 |
仅委托加工 |
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电子束蒸发镀膜 |
800 |
80元/10nm (贵重金属) |
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磁控溅射(DE500) |
1000 |
80元/10nm (贵重金属) |
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原子层沉积（Sunale R-200） |
600元/次 |
4元/nm |
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快速退火炉 |
200元/次 |
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临界点干燥仪 |
200元/次 |
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热蒸发镀膜 |
600 |
80元/10nm (贵重金属) |
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台阶仪 |
300 |
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引线压焊机(West bond) |
200元/次 |
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纳米压印 |
300 |
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探针台/4200参数测试仪 |
200 |
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感应耦合等离子刻蚀(Oxford ICP-RIE) |
600 |
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等离子增强沉积(PECVD) |
700 |
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反应离子刻蚀(Trion RIE/ RIE-10NR) |
600 |
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HMDS烘箱(YES) |
200元/次 |
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等离子体刻蚀(IBE，LKJ-3D-150) |
500 |
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拉曼光谱 |
500 |
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椭圆偏振仪(JY UVSEL2) |
500 |
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原子力显微镜 (Bruker Dimension ICON) |
400 |
50(cont, tap), 100(EFM,MFM),
150(CAFM,SCM,NANOLITH)，针尖根据购买针尖合同价格收费 |
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微波去胶 |
300 |
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水滴角测试仪 |
300 |
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真空沉积 |
100元/次 |
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探针台2 |
80元/小时 |
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电子束曝光系统（JBX-8100FS） |
1800 |
500元/ml(ZEP胶) |
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小型设备培训（膜厚仪、划片、紫外臭氧、天平、热版、国产甩胶、真空烘箱） |
100元/人/次 |
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说明： 1、 设备机时以30分钟作为最小计时单位，不足30分钟部分按30分钟计算收费机时。 2、 本收费标准中涉及的大型仪器机时费均为用户自行操作；如需委托工程师操作，则收费标准上浮50%，且无法保证实际完成时间。 |
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用户指南