复旦大学微纳加工服务收费标准（2024版）
设备名称
对外标准(元/小时)
备注
实验室使用和安全培训
50元/人/次
进洁净间
30元/次
含常规小型设备使用实验和洁净室耗材费用
设备工艺集中培训
300元/人/次
紫外光刻(Karl Suss MA6)
600
光刻版自备或支付相应材料费
制版机(Heidelberg mPG 501)
钨灯丝电镜+能谱仪
(Zeiss EVO10 + EDX)
不对外开放
仅对物理系开放
场发射电镜+电子束曝光
(Zeiss Sigma + Raith Elphy plus)
800
聚焦离子束(双束)显微镜(Auriga)
1200
仅委托加工
电子束蒸发镀膜 (Kurt Lesker LAB18)
80元/10nm (贵重金属)
磁控溅射(DE500)
1000
原子层沉积（Sunale R-200）
600元/次
4元/nm
快速退火炉
200元/次
临界点干燥仪
热蒸发镀膜
(Kurt Lesker Nano36)
台阶仪(Bruker DektakXT)
300
引线压焊机(West bond)
纳米压印（Entire3）
探针台/4200参数测试仪
200
感应耦合等离子刻蚀
(Oxford ICP-RIE)
等离子增强沉积(PECVD)
700
反应离子刻蚀
(Trion RIE/ RIE-10NR)
HMDS烘箱(YES)
等离子体刻蚀
(IBE，LKJ-3D-150)
500
拉曼光谱 (JY HR Evolution)
椭圆偏振仪(JY UVSEL2)
原子力显微镜
(Bruker Dimension ICON)
400
50(cont, tap), 100(EFM,MFM), 150(CAFM,SCM,NANOLITH)，针尖根据购买针尖合同价格收费
微波去胶
水滴角测试仪
真空沉积（Parylene）
100元/次
探针台2
80元/小时
电子束曝光系统（JBX-8100FS）
1800
500元/ml(ZEP胶)
无掩膜紫外光刻机
双光子三维光刻系统
XeF2刻蚀机
喷金仪
小型设备培训（膜厚仪、划片、紫外臭氧、
天平、热版、国产甩胶、真空烘箱）
100元/人/次
说明：1、 本收费标准中涉及的大型仪器机时费均为用户自行操作；如需委托工程师操作，则收费标准上浮50%，且无法保证实际完成时间。
