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复旦大学微纳加工服务收费标准（2024版） |
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设备名称 |
收费标准(元/小时) |
备注 |
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实验室使用和安全培训 |
50元/人/次 |
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进洁净间 |
30元/次 |
含常规小型设备使用实验和洁净室耗材费用 |
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设备工艺集中培训 |
300元/人/次 |
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紫外光刻(Karl Suss MA6) |
600 |
光刻版自备或支付相应材料费 |
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制版机(Heidelberg mPG 501) |
600 |
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钨灯丝电镜+能谱仪 (Zeiss EVO10 + EDX) |
200 |
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场发射电镜+电子束曝光 (Zeiss Sigma + Raith Elphy plus) |
800 |
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聚焦离子束(双束)显微镜(Auriga) |
1200 |
仅委托加工 |
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电子束蒸发镀膜 |
800 |
100元/10nm (贵重金属) |
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磁控溅射(DE500) |
1000 |
100元/10nm (贵重金属) |
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原子层沉积（Sunale R-200） |
30 |
4元/nm |
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快速退火炉 |
400 |
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临界点干燥仪 |
200 |
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热蒸发镀膜 (Kurt Lesker Nano36) |
600 |
100元/10nm (贵重金属) |
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台阶仪(Bruker DektakXT) |
300 |
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引线压焊机(West bond) |
200 |
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纳米压印（Entire3） |
300 |
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探针台/4200参数测试仪 |
200 |
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感应耦合等离子刻蚀 (Oxford ICP-RIE) |
600 |
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等离子增强沉积(PECVD) |
700 |
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反应离子刻蚀T2 (RIET2) |
600 |
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HMDS烘箱(HMDS) |
400 |
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离子束刻蚀系统(IBE) |
500 |
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激光共聚焦显微拉曼光谱仪 |
500 |
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椭圆偏振光谱仪(SE) |
500 |
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原子力显微镜（AFM） |
400 |
50(cont, tap), 100(EFM,MFM), 150(CAFM,SCM,NANOLITH)，针尖根据购买针尖合同价格收费 |
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微波去胶机 |
300 |
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水滴角测试仪 |
300 |
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真空沉积（Parylene） |
40 |
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电子束蒸发镀膜DE400 |
800 |
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场发射电镜Sigma300 |
800 |
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图形加工刻蚀系统 |
400 |
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电子束曝光系统（JBX-8100FS） |
2400 |
500元/ml(ZEP胶) |
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磁控溅射镀膜PVD75 |
1000 |
100元/10nm (贵重金属) |
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反应离子刻蚀RIE-10NR |
600 |
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无掩膜紫外光刻机 |
600 |
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双光子三维光刻系统 |
1800 |
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XeF2刻蚀机 |
1200 |
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喷金仪 |
600 |
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四楼EBL匀胶机 |
50 |
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紫外光刻匀胶机 |
50 |
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小型设备培训（膜厚仪、划片、紫外臭氧、天平、热版、国产甩胶、真空烘箱） |
100 |
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说明： 1、 本收费标准中涉及的大型仪器机时费均为用户自行操作；如需委托工程师操作，则收费标准上浮50%，且无法保证实际完成时间。 |
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