微纳加工与器件公共实验室收费标准（2026版）
生效日期：2026年7月1日
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设备名称 |
计价单位 |
设备机时费 |
技术代工费 |
备注 |
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感应耦合等离子刻蚀系统 |
按小时计费 |
1500 |
500 |
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纳米压印系统 |
按小时计费 |
400 |
400 |
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离子束刻蚀系统 |
按小时计费 |
800 |
400 |
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钨灯丝电镜 |
按小时计费 |
300 |
300 |
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钨灯丝电镜EDX能谱 |
按小时计费 |
300 |
200 |
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激光共聚焦显微拉曼光谱仪 |
按小时计费 |
500 |
500 |
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椭圆偏振光谱仪 |
按小时计费 |
500 |
500 |
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磁控溅射镀膜系统 |
按小时计费 |
1000 |
500 |
贵金属另行按市场行情计算 |
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原子层沉积系统 |
按小时计费 |
100 |
40 |
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场发射电镜Sigma |
按小时计费 |
900 |
600 |
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场发射电镜EDX能谱 |
按小时计费 |
500 |
300 |
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电子束蒸发镀膜仪DE400 |
按小时计费 |
1000 |
500 |
贵金属另行按市场行情计算 |
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场发射电镜Sigma300 |
按小时计费 |
900 |
600 |
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半导体参数测试仪 |
按小时计费 |
400 |
200 |
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磁控溅射镀膜PVD75 |
按小时计费 |
1000 |
500 |
贵金属另行按市场行情计算 |
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热蒸发镀膜机 |
按小时计费 |
900 |
500 |
贵金属另行按市场行情计算 |
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电子束蒸发镀膜LAB18 |
按小时计费 |
1000 |
500 |
贵金属另行按市场行情计算 |
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等离子增强化学气相沉积 |
按小时计费 |
1000 |
500 |
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聚焦离子束 |
按小时计费 |
1500 |
800 |
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反应离子刻蚀T2 |
按小时计费 |
800 |
400 |
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反应离子刻蚀RIE-10NR |
按小时计费 |
800 |
400 |
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XeF2刻蚀机 |
按小时计费 |
1200 |
500 |
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喷金仪 |
按小时计费 |
600 |
300 |
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紫外光刻机 |
按小时计费 |
1000 |
500 |
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制版机 |
按小时计费 |
900 |
500 |
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临界点干燥仪 |
按小时计费 |
500 |
500 |
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台阶仪 |
按小时计费 |
300 |
500 |
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HMDS烘箱 |
按小时计费 |
400 |
500 |
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原子力显微镜Park |
按小时计费 |
800 |
500 |
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水滴角测试仪 |
按小时计费 |
300 |
500 |
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Parylene沉积系统 |
按小时计费 |
300 |
100 |
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无掩膜紫外光刻机 |
按小时计费 |
900 |
500 |
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双光子三维光刻系统 |
按小时计费 |
1800 |
800 |
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原子力显微镜Bruker |
按小时计费 |
800 |
500 |
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扫描探针加工系统 |
按小时计费 |
1000 |
600 |
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倾斜刻蚀机 |
按小时计费 |
1500 |
800 |
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电子束光刻系统 |
按小时计费 |
2800 |
800 |
曝光核心操作由工程师完成；涂胶等配套工艺用户自行完成 |
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电子束曝光培训 |
按次计费 |
/ |
4000 |
电子束曝光培训含软件、硬件培训；其余大型设备培训按照300元/人次收取。 |
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氮气氛快速退火 |
按小时计费 |
600 |
400 |
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真空快速退火 |
按小时计费 |
600 |
400 |
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EBL甩胶机 |
按小时计费 |
60 |
200 |
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紫外光刻匀胶机 |
按小时计费 |
60 |
200 |
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膜厚仪 |
按小时计费 |
200 |
200 |
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薄膜应力测试仪 |
按小时计费 |
500 |
200 |
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霍尔测试仪 |
按小时计费 |
300 |
200 |
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