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化学品清单 |
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序号 |
化学品成分 |
成分 |
简介 |
CAS号/CSDS |
存放位置 |
备注 |
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1 |
无水乙醇 |
CH3CH2OH |
用于样品清洗 |
清洗间有机试剂柜 |
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2 |
丙酮 |
CH3OCH3 |
用于样品清洗，去胶 |
67-64-1.pdf |
清洗间有机试剂柜 |
使用需要按要求登记 |
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3 |
异丙醇 |
C3H8O |
用于样品清洗、显影、定影 |
清洗间有机试剂柜 |
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4 |
四甲基二戊酮 |
C6H12O |
电子束光刻显影 |
清洗间有机试剂柜 |
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5 |
HMDS |
CH3)3SiNHSi(CH3)3 |
光刻胶粘附剂 |
五楼HMDS设备 |
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6 |
TMAH |
C4H13NO |
光刻显影 |
清洗间无机试剂柜 |
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7 |
氢氧化钠 |
NaOH |
光刻显影液配置 |
清洗间无机试剂柜 |
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