高真空快速热退火（RTP800V）启用通知
设备名称：高真空快速热退火
设备型号：RTP800V
厂 家：北京东之星
设备分类：辅助工艺
设备功能介绍
在高真空或特定气氛环境下，精确控制样品快速升温、降温过程，实现掺杂激活（离子注入后退火）、欧姆接触退火（金属化退火）、应力释放及其它快速热处理工艺。
设备性能指标
1、温度范围：150 – 1200℃
2、升温速率：2-200℃/秒可调
3、工作时间：1000℃保持1h，1200℃保持20min
4、真空系统：极限真空度0.1Pa
5、最大样品尺寸：8英寸晶圆及以下
设备放置房间
江湾校区物理科研楼N505，微纳加工实验室。
设备预约方式
微纳加工实验室网站：nanofab.fudan.edu.cn
工程师联系方式
张老师：021-31243290
zhangjinhua@fudan.edu.cn
设备报名培训方式
在微纳预约网站上找到该设备，点击“申请参加培训”并提交纸质版《设备培训报名表》，首次培训在9月上旬。