紫外光刻机
[ 基础信息 ]
生产国家 :
制造厂商 :
购置日期 : 2022-11-24
规格型号 : MA6
[ 分类信息 ]
设备类型 : 图形加工, 紫外光刻
设备编号 : FNF005
[ 联系信息 ]
联系人 : 王恒亮
存放地址 : 物理楼光刻区
联系电话 : 021-31243290
联系邮箱 : whengliang@fudan.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
采用紫外光源，实现光刻胶的曝光，将光刻版上的图形转移到光刻胶上，在光刻胶上制作出亚微米（＞0.8um）图形结构。紫外光刻系统是目前实验室光刻技术中最为常用和重要的光刻设备。
主要规格及技术指标 :
光源波长：365nm——436nm。
最小线宽：0.8um。
套准精度：±0.5um
最小曝光时间：0.1s
晶圆尺寸：碎片（如1cm、2cm等小尺寸）、2-4英寸。
曝光模式：硬接触模式、真空接触模式、低真空接触模式、软接触模式、接近式接触模式。
对准模式：正面对准和背面对准。
