双频太赫兹近场热成像显微镜
[ 基础信息 ]
生产国家 : 中国
制造厂商 : 自研
购置日期 : 2026-08-19
规格型号 : SNoiM DF-01
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 :
[ 联系信息 ]
联系人 : 安正华
存放地址 : B006
联系电话 : 021-31243291
联系邮箱 : anzhenghua@fudan.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
对半导体微纳器件、功率器件在通电状态下进行原位超分辨热成像和预失效分析。
主要规格及技术指标 :
空间分辨率<50nm; 21THz和34THz近场成像；源漏调制模式、针尖轻敲模式
