高真空快速热退火
[ 基础信息 ]
生产国家 : 中国
制造厂商 : 北京东之星
购置日期 : 2026-05-21
规格型号 : RTP800V
[ 分类信息 ]
设备类型 : 辅助工艺
设备编号 :
[ 联系信息 ]
联系人 : 张锦华
存放地址 : 物理楼N505
联系电话 : 31243290
联系邮箱 : zhangjinhua@fudan.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
气体：N2、N2H2。
主要功能及特色 :
在高真空或特定气氛环境下，精确控制样品快速升温、降温过程，实现掺杂激活（离子注入后退火）、欧姆接触退火（金属化退火）、应力释放及其它快速热处理工艺。
主要规格及技术指标 :
温度范围：150 – 1200℃
升温速率：2-200℃/秒可调
工作时间：1000℃保持1h，1200℃保持20min
真空系统：极限真空度0.1Pa
最大样品尺寸：8英寸晶圆及以下
