纳米压印
[ 基础信息 ]
生产国家 :
制造厂商 :
购置日期 : 2020-10-29
规格型号 : Eitre3
[ 分类信息 ]
设备类型 : 图形加工, 纳米压印
设备编号 : FNF026
[ 联系信息 ]
联系人 : 王恒亮
存放地址 : 物理楼光刻区
联系电话 : 021-31243290
联系邮箱 : whengliang@fudan.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
高温模块配件，最高温度可达300℃
主要功能及特色 :
无
主要规格及技术指标 :
纳米压印机的温度可达200℃，选择高温模块后，最高温度可达300℃，压印精度为20nm，最小压力15bar，最大压力70bar，冷却方式为气冷，最大样品尺寸为3英寸
