无掩膜紫外光刻机
[ 基础信息 ]
生产国家 : 中国
制造厂商 : 赫智科技（苏州）有限公司
购置日期 : 2024-01-08
规格型号 : TTT-07-UV Litho-ACA （R）
[ 分类信息 ]
设备类型 : 图形加工, 光刻制版
设备编号 :
[ 联系信息 ]
联系人 : 王恒亮
存放地址 : N407
联系电话 : 021-31243290
联系邮箱 : whengliang@fudan.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
用于微纳结构曝光、电输运测试/光电测试器件的制备、二维材料电极的搭建、太赫兹/毫米波器件的制备和光学掩模板的制作等
主要规格及技术指标 :
最小线宽：0.8µm，DMD分辨率：1920 × 1080 像素，单像素尺寸7.6 µm； 拼接台无回程差，行程125 mm；1.2µm，（20X）；0.8µm，（50X）；光刻镜头工作距离：19mm，（20X）；12mm，（50X）；405nm长寿命LED光源，适用于多种型号的光刻胶；125mm × 125mm最大直写面积
