磁控溅射镀膜PVD75
[ 基础信息 ]
生产国家 : 美国
制造厂商 : Kurt
购置日期 : 2023-12-22
规格型号 : PVD75
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 :
[ 联系信息 ]
联系人 : 朱丽萍
存放地址 :
联系电话 :
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
低温泵
主要功能及特色 :
Ti ，Nb， Al，Ag, Cu, Pt（室温）， Mo(高温）,Si,可加N2长氮化物
主要规格及技术指标 :
6个3寸靶材，高温可达800℃
