喷金仪
[ 基础信息 ]
生产国家 : 德国
制造厂商 : 200mm*150mm*195mm
购置日期 : 2023-05-19
规格型号 : ACE200
[ 分类信息 ]
设备类型 : 薄膜沉积, 辅助工艺
设备编号 :
[ 联系信息 ]
联系人 : 徐红涛
存放地址 : 江湾物理楼 N407
联系电话 : 021-31243290
联系邮箱 : xuhongtao@fudan.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
Leica EM ACE600 是一款多功能型高真空镀膜系统，用于制备超薄，细颗粒的导电金属膜和碳膜，主要用于FE-SEM 、FIB和 TEM 超高分辨率分析所需的镀膜要求。
主要规格及技术指标 :
1、镀膜方式：金属溅射镀膜和碳丝蒸发镀膜；
2、样品仓尺寸：200mm*150mm*195mm；
3、溅射电流：0-150mA可调；
4、极限真空度：≤2*10-6mBar；
5、薄膜控制精度：0.1nm；
6、可镀膜材料：Pt、Au、C等材料
