反应离子刻蚀RIE-10NR
[ 基础信息 ]
生产国家 : 日本
制造厂商 : Samco
购置日期 : 2023-05-19
规格型号 : RIE-10NR
[ 分类信息 ]
设备类型 : 干法刻蚀, 反映离子刻蚀
设备编号 :
[ 联系信息 ]
联系人 : 徐红涛
存放地址 : 江湾物理楼 N407 刻蚀一区
联系电话 : 31243290
联系邮箱 : xuhongtao@fudan.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
气体：Ar、O2、CF4、SF6、CHF3
主要功能及特色 :
主要用于介质材料，光刻胶的干法刻蚀
主要规格及技术指标 :
样品最大尺寸：300mm
射频源：300W，13.546MHz
