HMDS真空烘箱
[ 基础信息 ]
生产国家 :
制造厂商 :
购置日期 : 2022-11-24
规格型号 : 310TA
[ 分类信息 ]
设备类型 : 辅助工艺, HMDS烘箱
设备编号 : FNF016
[ 联系信息 ]
联系人 : 王恒亮
存放地址 : 物理楼操作平台2
联系电话 : 021-31243290
联系邮箱 : whengliang@fudan.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
将HMDS涂到样品表面后，经烘箱加温可生成硅氧烷为主的化合物，将样品表面由亲水性变为疏水性，此疏水性能够很好的与光刻胶结合，增加了样品表面与光刻胶的粘附作用。
主要规格及技术指标 :
控温范围：160℃。
温度均匀性：±5℃。
腔体尺寸：30.48cmW×33.66cmD×30.48cmH。
可放样品：碎片、一个8英寸、2个6英寸。
控制：显示触摸屏设置各种参数。
控制方式：手动/自动。
