制版机
[ 基础信息 ]
生产国家 :
制造厂商 :
购置日期 : 2022-09-14
规格型号 : uPG501
[ 分类信息 ]
设备类型 : 图形加工, 光刻制版
设备编号 : FNF006
[ 联系信息 ]
联系人 : 王恒亮
存放地址 : 物理楼光刻区
联系电话 : 021-31243290
联系邮箱 : whengliang@fudan.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
采用紫外光源(390nm)，制作光刻掩模版；也可以直接实现光刻胶的曝光，在光刻胶上制作出亚微米（＞1um）图形结构。
主要规格及技术指标 :
光源：LED 390nm。
最小线宽：1um。
套准精度：0.5um。
衬底尺寸：最大为4英寸。
衬底厚度：0-6mm。
数据格式：GDSII、DXF、CIF、BMP
