反应离子刻蚀RIE-601
[ 基础信息 ]
生产国家 : 中国
制造厂商 :
购置日期 : 2020-10-30
规格型号 : RIE-601
[ 分类信息 ]
设备类型 : 干法刻蚀, 反映离子刻蚀
设备编号 :
[ 联系信息 ]
联系人 : 徐红涛
存放地址 : 物理楼N407刻蚀一区
联系电话 : 021-31243290
联系邮箱 : xuhongtao@fudan.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
气体：Ar、O2、CF4、SF6、CHF3
主要规格及技术指标 :
主要用于超导材料Nb和NbN材料的刻蚀
