AFM光刻
[ 基础信息 ]
生产国家 :
制造厂商 :
购置日期 : 2020-10-30
规格型号 :
[ 分类信息 ]
设备类型 : 图形加工, 结构表征, 原子力显微镜
设备编号 :
[ 联系信息 ]
联系人 : 王恒亮
存放地址 :
联系电话 : 021-31243290
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
图形制备设备
主要规格及技术指标 :
需要热敏胶（PPA），结构最小线宽～20nm。样品尺寸<2inch.
