电子束蒸发镀膜DE400
[ 基础信息 ]
生产国家 : 美国
制造厂商 : 德仪科技
购置日期 : 2020-10-30
规格型号 : DE400
[ 分类信息 ]
设备类型 : 薄膜沉积, 电子束蒸发
设备编号 :
[ 联系信息 ]
联系人 : 朱丽萍
存放地址 : 沉积Ⅱ区
联系电话 :
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
主要用于生长Ti、Al、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、Pd等金属薄膜
主要规格及技术指标 :
1、极限真空：5E-8 Torr（ 30分钟从 atm 抽到 5E-6 Torr ）；
2、薄膜均匀性：±4% （ 4英寸）；
3、样品尺寸：4英寸及以下
