原子层沉积
[ 基础信息 ]
生产国家 : 芬兰
制造厂商 : picosun
购置日期 : 2020-10-30
规格型号 : R-200
[ 分类信息 ]
设备类型 : 薄膜沉积, 原子层沉积
设备编号 : H1410174
[ 联系信息 ]
联系人 : 朱丽萍
存放地址 : 刻蚀Ⅱ区
联系电话 :
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
主要用于生长High-K材料，Al2O3、HfO2、ZrO2
主要规格及技术指标 :
thermo型，6路源管路，4个源瓶
