无
电学特性测量设备,可实现I-V和C-V等特性表征。
源测量单元:4个源测量单元I-V测量最大电流: 100mA。I-V测量最小分辨率:最小分辨率为0.1fA。I-V测量最大电压:200V。C-V测量:扫频范围1KHz-10MHz,偏置电压±60V。