电子束蒸发镀膜LAB18
[ 基础信息 ]
生产国家 : 美国
制造厂商 : Kurt Lesker
购置日期 : 2020-10-30
规格型号 : LAB18
[ 分类信息 ]
设备类型 : 薄膜沉积, 电子束蒸发
设备编号 : H1304822
[ 联系信息 ]
联系人 : 朱丽萍
存放地址 : 沉积Ⅰ区
联系电话 :
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
在高真空下，电子枪灯丝加热后发射热电子，被加速阳极加速，获得很大的动能轰击到的蒸发材料上，把动能转化成热使蒸发材料加热气化，而实现蒸发镀膜。电子束蒸发源由发射电子的热阴极、电子加速极和作为阳极的镀膜材料组成。电子束蒸发源的能量可高度集中，使镀膜材料局部达到高温而蒸发。通过调节电子束的功率，可以方便的控制镀膜材料的蒸发速率，特别是有利于高熔点以及高纯金属和化合物材料。
主要规格及技术指标 :
蒸镀薄膜种类：Au, Ti, Cr, Ag, Al, Cu, FeNi, AuGe, Pt, Pb, In, Mo, SiO2等
极限真空：5E-8 Torr（ 30分钟从 atm 抽到 5E-6 Torr ）
薄膜均匀性：±4% （ 4英寸 ）
装片：小于6英寸的任意规格的样品若干
