椭圆偏振光谱仪
[ 基础信息 ]
生产国家 :
制造厂商 :
购置日期 : 2020-10-30
规格型号 : Uvisel2
[ 分类信息 ]
设备类型 : 光学表征, 椭圆偏振仪
设备编号 : H1410172
[ 联系信息 ]
联系人 : 朱丽萍
存放地址 : 物理楼B062
联系电话 :
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于并不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空。可测的材料包括：半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质。可以应用于半导体、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科研、生物、医药等领域。
主要规格及技术指标 :
主要用于膜厚以及折射率、消光系数等光学常数的测量
测量范围：190-2100nm
测量薄膜厚度：小于10nm
相位调制：50KHz PEM调制
自动平台扫描成像
