台阶仪
[ 基础信息 ]
生产国家 :
制造厂商 :
购置日期 : 2020-10-30
规格型号 : Dektak XT
[ 分类信息 ]
设备类型 : 结构表征, 台阶仪
设备编号 : FNF012
[ 联系信息 ]
联系人 : 王恒亮
存放地址 : 物理楼沉积I区
联系电话 : 021-31243290
联系邮箱 : whengliang@fudan.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
测量台阶高度
主要规格及技术指标 :
台阶高度最大：1mm，扫描长度范围：50um～55mm，标配最大50mm；最大垂直分辨率：1Å (6.55微米垂直范围下）。最大样品尺寸：200mm，探针针尖的曲率半径12um。探针压力1～15mg。
