感应耦合等离子刻蚀
[ 基础信息 ]
生产国家 : 英国
制造厂商 : Oxford
购置日期 : 2013-09-06
规格型号 : Plasma 100
[ 分类信息 ]
设备类型 : 干法刻蚀, 感应耦合等离子刻蚀
设备编号 : H1306301
[ 联系信息 ]
联系人 : 徐红涛
存放地址 : 物理楼 N407刻蚀1区
联系电话 : 021-31243290
联系邮箱 : xuhongtao@fudan.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
气体：Ar、SF6、BCl3、HBr、C4F8、CHF3
主要功能及特色 :
主要用于介质材料的干法刻蚀，如Si、SiO2、Si3N4、SOI等
主要规格及技术指标 :
样品最大尺寸：8英寸及以下
