离子束刻蚀系统

[ 基础信息 ]
生产国家 : 中国
制造厂商 : 爱德万斯
购置日期 : 2014-09-01
规格型号 : LKJ-3D-150
[ 分类信息 ]
设备类型 : 干法刻蚀, 离子束刻蚀
设备编号 : H1403998
[ 联系信息 ]
联系人 : 徐红涛
存放地址 : 物理楼N407刻蚀1区
联系电话 : 021-31243290
联系邮箱 : xuhongtao@fudan.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :

气体:Ar气

主要功能及特色 :

主要用于金属材料和金属氧化物材料的物理刻蚀,如 Al、Ni、Cr、Ti、Au等金属材料;

主要规格及技术指标 :

Ar离子束径100mm,均匀性±5%,无衬底温度升高限制样品。刻蚀速率10nm-200nm/min。

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[ 开放机时安排 ]
[ 参考收费标准 ]