Parylene
[ 基础信息 ]
生产国家 :
制造厂商 :
购置日期 : 2022-11-24
规格型号 : PDS2010
[ 分类信息 ]
设备类型 : 薄膜沉积, 热蒸发
设备编号 : FNF032
[ 联系信息 ]
联系人 : 王恒亮
存放地址 : 物理楼操作平台2
联系电话 : 021-31243290
联系邮箱 : whengliang@fudan.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
蒸镀Parylene薄膜材料。
主要规格及技术指标 :
制冷温度可达-90℃，具有可互换的沉积腔模块，可实现闭环单体压力控制，连续的压力检测，涂敷层厚为100nm—100um
